JEB - 3

製造約瑟夫森接面（Josephson junction）設備的標準配置：一個用於離子銑削的腔體（含進出料鎖 LL 功能）、一個用於電子束（E-beam）蒸鍍的腔體，以及一個用於氧化製程的腔體。

透過軟體進行全自動傳輸與製程控制。所有腔體均包含超高真空（UHV）相容的烘烤燈，用於系統烘烤（bake out）與樣品除氣（degassing）。