電子迴旋共振（ECR）

ECR（電子迴旋共振）是一種微波等離子體設備，其利用微波激發氣體分子使其解離以形成等離子體；然而，在腔體中會額外施加磁場，並產生一個垂直於軸向磁場的電場，從而使電子圍繞著磁場做圓周運動。

當電子運動的角頻率與微波波向量的變化頻率相同時，即實現電子迴旋共振。

此時，電子能夠最有效地吸收微波能量，從而大幅提高解離效率。