Adnanotek Corporation

關於我們

AdNaNoTek 是全球超高真空(UHV)技術與解決方案領域中崛起中的領導者。

我們專精於設計與製造最先進且完全可客製化的超高真空系統,能夠完美滿足各類研究與工業需求。

我們的產品與服務範圍包括:

超高真空沉積系統:
  • 脈衝雷射沉積 (PLD)

  • 脈衝雷射分子束外延 (PLMBE)

  • 分子束外延 (MBE)

  • 磁控濺鍍沉積 (Sputter)

  • 電子束蒸發源 (E-Beam)

  • 離子束濺鍍沉積 (IBSD)

  • 原子層沉積系統 (ALD)

  • 反應離子蝕刻 (RIE)

  • 化學氣相沉積 (CVD)

  • 客製化超高真空系統,以及整合型超高真空系統

超高真空零組件:
  • 超高真空線性傳輸管道系統 (UHV Linear Tunnel System)

  • 樣品/靶材更換器 (Sample/Target Exchanger)

  • 行星式基板樣品托 (Planetary Substrate Manipulator)

  • 客製化超高真空/高真空腔體 (Customized UHV/HV Chamber)

  • 離子源 (Ion Sources)

  • 濺鍍陰極 (Sputter Cathodes)

  • 碳化矽(SiC)加熱系統 (SiC Heating System)

  • 電子束加熱系統,以及雷射加熱系統

蝕刻系統:
  • 反應離子蝕刻(RIE)系統

  • 感應耦合電漿反應離子蝕刻(ICP RIE)系統

  • 電子迴旋共振反應離子蝕刻(ECR RIE)系統

  • 離子束蝕刻系統

我們的超高真空沉積系統保證能沉積出極高品質的薄膜。最先進的系統控制軟體提供了使用者友好的介面,可實現簡易的操作、精確的參數調整、即時的製程監控以及完整的數據記錄。

此外,我們也擅長提供高品質的客戶與技術服務,範圍涵蓋深入的理論與實作培訓、專業技術諮詢到技術支援。

憑藉我們在奈米技術、表面科學、半導體與薄膜鍍膜領域的廣博知識,在超高真空沉積技術方面的豐富經驗,以及與客戶的持續互動,

我們確信能夠:

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